美國(guó)KMLabs拥有(yǒu)将先进的超快激光技术推向市场的悠久历史。在1990年代,KMLabs从Kapteyn-Murnane研究小(xiǎo)组中脱颖而出,该研究小(xiǎo)组设计并演示了10fs Ti:蓝宝石激光器,该激光器现已在全球范围内使用(yòng)。 KMLabs的成立是為(wèi)了响应其他(tā)科(kē)學(xué)家对在脉冲持续时间基本极限下运行的激光器的强烈需求,而传统激光器公司根本无法解决这一需求。从那以后,其他(tā)激光公司一直跟随KMLabs。
到2000年代初,KMLabs还实现了高平均功率低温冷却的Ti:蓝宝石放大器系统的商(shāng)业化,提供创纪录的25W平均功率,TW峰值功率,kHz重复频率和≈20-30fs的脉冲持续时间。到2009年,KMLabs率先推出了商(shāng)业高谐波光源,该光源通过强飞秒(miǎo)激光的频率上变频产生相干EUV光束。这演变成XUUS产品線(xiàn),并在光谱學(xué),成像和材料计量學(xué)领域拥有(yǒu)大量已证明的应用(yòng)。2015年,KMlabs满足了下一代光刻相关的用(yòng)于检查和计量的高平均功率EUV/SXR相干光源,以及对纳米计量學(xué)更好的分(fēn)析工具的需求。
KMLabs主要产品:
极紫外光源
XUUS高次谐波、EUV光源
真空紫外線(xiàn)源
集成系统
量子显微镜
超快速TI:S激光/放大器
超快速TI:S激光器/振荡器
超快速钛:蓝宝石振荡器
Ti:蓝宝石激光套件
Ti:蓝宝石振荡器家族
钛:蓝宝石振荡器
配件类
束線(xiàn)模块、脉冲选择器
主要型号:
QM、Stryde、Collegiate、Griffin、Halcyon、RAEA、Wyvern、Dragon、XUUS
专注领域研究 产品供应
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