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ATL Lasertechnik紫外線(xiàn)光源ATLEX-S

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产品介绍

超紧凑的尺寸

软電(diàn)晕预電(diàn)离

高压固态脉冲发生器

激光头體(tǐ)积<3l

TMC(全金属陶瓷)容器

集成真空泵和卤素过滤器

完全风冷,主动热管理(lǐ)

RS-485,RS232,USB和光纤接口,用(yòng)于系统集成

可(kě)冲洗光學(xué)支架

能(néng)量稳定模式

ATLEX-S系列激光是一种非常紧凑的紫外光源,专為(wèi)中低占空比S应用(yòng)而设计。

产品参数

气體(tǐ)介质

ArF

KrF

波長(cháng) nm

193

248

高压开关技术

固态开关

固态开关

重复率max. Hz

300

500

300

500

脉冲能(néng)量max. mJ

10

10

15

15

平均功率max. W

2.4

4

4

6

脉冲持续时间 ns

5-8

光束尺寸(V x H) mm

4 x 6

光束发散角(V x H)mrad

1 x 2

能(néng)量稳定性(标准偏差)%

< 3

尺寸(長(cháng)x宽x高)mm

630 x 400 x 300

重量 kg

65

冷却

空气

電(diàn)源要求

230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz

 

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