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aixACCT双光束激光干涉仪aixDBLI

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  • 品牌名称:aixACCT
  • 规格型号:aixDBLI
产品介绍

机電(diàn)大信号应变和极化测量。

压電(diàn)小(xiǎo)信号系数和介電(diàn)常数与直流偏置電(diàn)压的关系。如果已知刚度值,则可(kě)以使用(yòng)附加的aixPlorer软件工具从这些值得出耦合系数。

電(diàn)气和机電(diàn)性能(néng)疲劳。

作為(wèi)電(diàn)气薄膜测试的创新(xīn)者,aixACCT Systems已将公认的双光束技术扩展到可(kě)商(shāng)用(yòng)的双光束激光干涉仪系统,该系统可(kě)进行長(cháng)达8英寸的晶圆表征。用(yòng)于测量d33的双光束激光干涉仪(aixDBLI)可(kě)提供经过验证的精度(x切割石英),可(kě)达0.2 pm / V。该系统的主要特点是单次测量的采集时间极短,仅為(wèi)几秒(miǎo)钟。基于新(xīn)的数据采集算法,测量速度提高了100倍。这使得比较了以相同激励频率记录的薄膜的電(diàn)气和机械数据。由于差分(fēn)测量原理(lǐ),消除了样品弯曲的影响,这是使用(yòng)原子力显微镜(AFM)进行此类测量的主要障碍。

产品参数

分(fēn)辨率:1 pm通过x-cut Quartz测试

位移/应变测量:

50 Hz-5 kHz

100 mV至10 V

Max.25 V(可(kě)选)

压電(diàn)d33系数:

偏压(1 mHz至1 Hz):100 mV至10 V

Max.25 V(可(kě)选)

小(xiǎo)信号(1 kHz至10 kHz):100 mV至10 V

電(diàn)致伸缩M33:与d33相似

C(V)测量:

偏压(1 mHz至1 Hz):100 mV至10 V

Max.25 V(可(kě)选)

小(xiǎo)信号(1 kHz至10 kHz):100 mV至10 V

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