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产品介绍
CNI v3.0是桌面压印工具，易于复制微米级结构，可(kě)用(yòng)的腔室可(kě)支持多(duō)到100毫米晶圆或200毫米晶圆。CNI是一种用(yòng)于压印和热压花(huā)的桌面尺寸工具。它允许微结构从母版复制到基底。CNI工具可(kě)以执行热复制和紫外線(xiàn)复制。CNI工具是压印的良好起点，但它也支持成熟和先进的开发工作。CNI工具操作简单，功能(néng)强大，便于非标准流程和新(xīn)实验。
性能(néng)特点
- 台式压印工具
- UV NIL@365 nm（或405 nm–自定义选项）
- 压印压力从0.3bar到11bar
- 真空压印（1mbar）
- 坚固且易于使用(yòng)
- 手动装载和卸载印章和基板
- 自动过程控制
- 易于操作的软件界面
技术参数
- 产地：丹麦
- 压力：压印压力為(wèi)0.3-11bar过压
- 温度：
- 最高200ºC，可(kě)控制+/-1ºC
- 最高250ºC，带高温选项
- 紫外線(xiàn)照射:波長(cháng)為(wèi)365和/或405 nm的紫外光，在120 mm的腔室中光功率為(wèi)12 W，在210 mm的腔室约為(wèi)100 mW/cm2或57 W，约為(wèi)165 mW/cm2。
- 真空：压印室可(kě)以抽空至约1mbar的压力
- 是否进口：是
- 应用(yòng)：广泛
- 封装：厂家制定
- 性能(néng)：良好
- 可(kě)靠性：高
产品参数
