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8-0240无间隙运行确保高运动精度 +0.5 μm 或更高的所有(yǒu)方向的双向重复性有(yǒu)效值；校准精度高达 +1.5 μm 或更高，整个可(kě)用(yòng)行程范围；保证了低角度偏差（低至 +20 μrad）和 +25 μrad 或更好的正交性；超过 1000 mm/s 的高速度和 15 000 mm/s 的高加速度带来了高产量和生产率；带有(yǒu)可(kě)调气动重量补偿装置的直接驱动垂直轴，适用(yòng)于不确定的刀(dāo)具重量，确保了多(duō)功能(néng)性；所有(yǒu) XYZ 模块中都集成了无铁電(diàn)机，确保了高动态范围和动态稳定性；直接安装在负载上的增量反馈系统可(kě)实现无间隙伺服控制和即时动态响应；提供Abs编码器选项，防止系统归位运行；新(xīn)型的实际龙门控制算法可(kě)确保稳定性和低动态误差；灵活的模块化设计可(kě)满足广泛的应用(yòng)要求、适合半导體(tǐ)制造或计量、钻孔、激光烧蚀等应用(yòng)；机构复杂度低，可(kě)在不同行程范围内快速扩展类似系统。
定位范围 XY - 1000 x 1300 mm，Y - 90 mm
+0. 5 μm 或更好的双向重复性 RMS
+1.5 μum 或更好的校准Abs精度
速度 1000 m/s，加速度 15 000 mm/s2
灵活的模块化设计可(kě)根据任何要求进行定制
可(kě)定制系统尺寸和行程范围
产地：立陶宛
编码器类型：光栅
编码器型号：LEN1
编码器分(fēn)辨率（nm）：低至 0.3
编码器接口：1 Vpp 或 Dierential RS422
内部乘法器：是
乘法器：x 65536
编码器光栅周期（μm）：20
参考标记（指数）：是
Abs精度（校正后）：±1.5；±1.5；±0.5 μm
双轴重复性 (RMS)：±0.5；±0.5；±0.1 μm
俯仰角：±15/±3.1；±42/±8.66；±551 ±11.34
偏航，拉德/角秒(miǎo)：±7.5/±1.55；±42/±8.66；±55/±11.34
滚动，垂距/角秒(miǎo)：±7.5/±1.55；±42/±8.66；±551 ±11.34
Max Vloit（无负荷，4 个電(diàn)机），mm/s：1000
Max Acleaton （空载，4 个電(diàn)机），mm/s2：10000
限位开关类型：霍尔传感器
限位开关電(diàn)压：5至24 V
線(xiàn)性平台总尺寸（宽 x 長(cháng) x 高）：2300 x 1690 x 912 mm
移动平台尺寸（宽 x 長(cháng)）：295 x 130 mm
测量系统：公制/英制
光度，μurad/arcsec：48.48/10
航空、海洋、地质勘探、测绘等
半导體(tǐ)制造或计量、钻孔、激光烧蚀等应用(yòng)
